Завершены испытания горизонтальной установки зонной перекристаллизации

Зонная плавка (очистка полупроводниковых материалов и редких металлов от примесей) основана на физических процессах разделения, преимущество которых состоит в том, что очистка протекает без использования реагентов, вносимых извне.

Зонная плавка - кристаллизационный метод очистки заключается в удалении примесей движущимся фронтом кристаллизации. Метод зонной плавки широко применяется для глубокой очистки металлов, полупроводниковых материалов и других веществ.

Изделие представляет собой стационарно закрепленную колбу из кварцевого стекла, в которой расположена лодочка с очищаемым веществом. Колба продувается инертным газом высокой степени очистки. Нагреватель, создающий зону расплавления проходит вдоль лодочки с задаваемой скоростью. В результате движения нагревателя вдоль лодочки, зона расплавления перемещается.

Нагреватель установлен на модуле линейного перемещения с обратной связью.

Диапазон скорости движения нагревателя от 1 до 15 см/час. Температура, до 850ºС. Нагревательный блок подключен через защитный разделительный трансформатор. Для обеспечения чистоты (стерильности) процесса, внутри камеры создается проток чистых инертных газов, что способствует удалению летучих примесей из расплавленной зоны. Расход инертного газа контролируется и отображается на экране контроллера.

Диапазон измерения потока инертного газа 0,05 до 0,3 л/минуту. Возможно создание в камере избыточного давления или глубокого вакуума.

Для обеспечения экологических требований инертный газ проходит через систему фильтров на выходе из установки.

Управляющий контроллер Trìm5 с защищенным экраном производства РФ. Программное обеспечение, написанное по рекомендациям конечного заказчика, позволяет устанавливать скорость нагрева, скорость перемещения нагревательного блока, температуру, порог расхода газа и другие параметры.

Работа возможна как в автоматическом, так и ручном режиме.

В системе управления реализовано архивирование параметров работы печи и просмотра записанных параметров в виде графиков.

Все средства измерения установки внесены в реестр.